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株式会社アルプスエンジニアリング
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マイクロブラスト装置 Micro Blast Machine

BSP-20 直圧式スリットノズル 研磨材連続循環式
BSP-20V サクション式丸ノズル 研磨材連続循環式
Shot Beam PDPの背面板加工、カーボン、シリコンウェハー、ガラス等の精密な加工に最適 ! BSP-20シリーズ 写真

概要

BSP−20シリーズは、試験研究用目的に小さいものの加工に特化し、軽量・省スペース化を実現した装置です。
フォトリゾ処理した被加工物を、高速移動する噴射ノズルの下で反復運動させて微細加工を行います。
●最大ワークサイズ  200(W) × 200(D) × 50(H) mm

特長

研磨材を精密スクリューフィードにより安定して供給し、均一な加工深さを実現しました。

パソコンからの指示により研磨材の供給量(回転数制御)、ノズル移動速度、ワークテーブル移動速度等を制御し簡単で的確な条件設定と再現性を可能にしました。

レジストフィルム(耐ブラスト性強化紫外線硬化樹脂)を使用することにより、微細加工(50μ穴)が可能です。

仕様

1.装置概要
装置名称 BSP-20 BSP-20V
装置構成 本体 ノズル駆動部、テーブル搬送部、加工室、ホッパー
粉体供給装置 サイクロン、リザーブタンク、フィーダータンク、 空圧機器部、制御盤 サイクロン、フィーダータンク、空圧機器部、 制御盤
装置サイズ 本体部 500(W) × 650(D) × 700(H)mm
粉体供給装置 500(W) ×500(D) ×1,456(H)mm 528(W) ×500(D) ×1,456(H)mm
ワークサイズ 最大ワークサイズ 200(W) ×200(D) ×50(H)mm
使用研磨材 種類 ガラスビーズ、炭酸カルシウム、SiC、アルミナ系研磨材 等
砥粒サイズ #300〜800 程度

2.各部詳細
本体
ノズル駆動部 ノズル最大振幅 300mm (振幅始点、振幅任意設定可)
ノズル高さ設定範囲 テーブル上面より 0〜80mm 手動可変式
ノズル移動速度 1〜20m/min. (〜330mm/sec.)
ノズル駆動方式 サーボモーター制御
ブラストノズル ノズル形状 スリットノズル 0.4×25mm 丸ノズルファイ7
ノズル数 1本
テーブル搬送部 テーブル最大振幅 300mm (振幅始点、振幅任意設定可)
テーブル移動速度 1〜5,000mm/min (〜83mm/sec.)
テーブル駆動方式 サーボモーター制御
照明 蛍光灯 10W 1本

3.粉体供給装置
サイクロン サイクロン ファイ140mm 1基
タンク容量 約2.5L  
研磨材循環方式 循環式 (レバーにより手動供給) 連続循環式
フィーダータンク 噴射方式 直圧式 サクション式
研磨材供給方式 スクリューフィーダー
スクリュー回転速度 1〜250 r.p.m. 15〜100 r.p.m.
スクリュー駆動方式 サーボモーター制御
タンク容量 約2.5L 約3.0L
ホース材質 ポリウレタンチューブ
空圧制御系 圧力制御 精密レギュレーター (ブラスト噴射圧力)
設定圧力 0.005〜0.4MPa
電気制御系 操作方式 パソコンにより条件設定及び操作(USBコネクタ接続)手動、自動モード切替・集塵機用及びパソコン用コンセント内蔵

安全装置
インターロック 本体ドア 1箇所
非常停止ボタン 研磨材供給部 1箇所

ユーティリティ
電源 50/60Hz AC100V
消費電力 Max. 2KW (集塵機最大1.5KW使用時)
エア供給量 600NL/min.以上
エア圧力 0.4〜0.7MPa
アース A種 推奨
集塵機 0.4〜1KW程度の集塵機 または クリーナーを推奨いたします。
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