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株式会社アルプスエンジニアリング
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事業案内

露光機 Exposure

ep40
Shot Beam PDPの背面板加工、カーボン、シリコンウェハー、ガラス等の精密な加工に最適 ! BSP-20シリーズ 写真

概要

1. レジストフィルムを貼ったワークにマスクを重ねた状態で吸着テーブルに乗せ、吸着用ブロワにて密着させて扉を閉めます。
2. タイマーにて露光時間を設定し、起動スイッチを押します。
3. 設定した時間分紫外線が照射され、完了するとブザーが鳴り露光完了を知らせます。

使用目的

紫外線フィルムの露光

ワークサイズ:400×400×45 mm

仕様

1.本体
モデル名 EP-40
サイズ 510(W) × 510(D) × 850(H)mm
重量 約50kg
ワークテーブル アルミ製
テーブルフレーム 形鋼溶接構造 黒色焼付塗装仕上げ
本体カバー 鋼板製 黒色焼付塗装仕上げ
※その他紫外線照射部はすべて黒色塗装仕上げ

2.光源部
サイズ 450(W) × 450(D) × 325(H)mm
重量 約10kg
ランプ メタルハライドランプ 1KW
電圧 145V
電流 7.6A
主発光波長 417mm
有効照射範囲 550×550mm (光源距離450mm75% 照度分布)
中心強度 14.2mW/cm2

3.電源部 及び ユーティリティ
サイズ 400(W) × 170(D) × 181(H) mm
重量 14kg
電源 AC200V(50/60Hz)15A
電源コード5m
消費電力 1.5KW

4.ワーク吸着テーブル用 ブロワーモータ
サイズ 250(W) × 250(D) × 247(H)mm
電圧 AC200V、200W
重量 18kg

EP40構成図
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