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株式会社アルプスエンジニアリング
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事業案内

マイクロブラスト加工

当社では、フォトマスク製作室、高度なクリーンルーム露光室、自社設備による現像室、ブラスト室を完備し、試作から量産まであらゆる受託加工に対応できます。

当社マイクロブラスト加工の特長

 
  1. 一貫した社内設備で行うことができます。 お客様からのデータ編集、マスク製作、レジストマスクによるパターン形成、加工前検査、ブラスト加工、線上、検査出荷など、全てを社内にて行います。
  2. 主要製造装置は、社内製造設備もしくは社内改造設備で、お客様のあらゆるニーズにお応えします。
  3. 最新のクリーン工場で加工し、加工精度を確保するとともに作業者の健康に優れた作業環境のもとで働けるようになっています。

フォトマスク製作室 * 露光室 * 現像室 * *
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フォトマスク製作室
 
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露光室
 
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現像室
   

ブラスト加工室 * 洗浄 * 検査 * 出荷
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ブラスト加工室
 
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洗浄
 
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検査
   

加工対象

 
・セラミックス(アルミナ、アルミナ、SiC、その他)
・ガラス(ソーダ、無アルカリ、ホウ珪酸、パイレックス、その他)
・シリコン
・ カーボン
・SUS(※深穴加工は不可能です)

加工例

 
セラミック微細穴貫通穴加工 * ガラス * カーボンセパレータ
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セラミックス微細穴貫通穴加工
(拡大写真)ファイ130μm
 
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ガラス微細パターニング
 
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燃料電池用カーボンセパレータ

シリコンウェハー * バックライト金型 * 有機EL用キャップガラス
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シリコンウェハー、微細パターニング
 
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バックライト用導光版金型
(拡大写真)ファイ150μm
 
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有機EL用キャップガラス
(400×400μm基板)

加工条件

 
加工素材、パターン形状、要求仕様等により下記は異なりますが、一つの目安にして下さい。

  1. 加工精度
  2. 切削深さ
  3. 面粗さ
  4. 最小線幅
  5. 加工パターン形状




±3〜10μm
最大 切削巾×1.0〜1.5
Ra0.1μm〜
50μm
直線、文字、自由曲線、図形その他


応用例

 
・プラズマディスプレイ
・レーザーマスク
・セラミック吸着板
・電子部品
・電子部品治具
・プリント基板
・電極板
・カーボン治具板 等
<応用例>・プラズマディスプレイ・レーザーマスク・セラミック吸着板・電子部品・電子部品治具・プリント基板・電極板・カーボン冶具板等



お問い合わせ先
(株)アルプスエンジニアリング 総合窓口:営業部 池野(いけの)まで
Phone: 053-485-3600  FAX:053-485-5498
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