マイクロブラスト加工
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業務内容
マイクロブラスト
世界に先駆けて当社が実用化した 「マイクロブラスト」

マイクロブラストは、当社が世界に先駆けて実用化に成功しました。均一で微細な精密加工を行うことができます。半導体関連部品、電子部品などの用途として脆性材であるガラス・セラミック・シリコン・ウエハ・カーボン等への微細加工に最適です。

マイクロブラストとは

マイクロブラストとは、紫外線硬化性樹脂フィルムをラミネートしたワークを、露光・現像によりフォトリソ処理後、微細研磨材を制御コントロールして吹き付けて加工する技術です。この技術は、20 年前からの装置及び加工技術開発と、高性能なレジストフィルムの発達により進化してきました。 従来、ケミカルエッチングではガラス、ステンレスといった限られた素材しか加工できませんでしたが、近年、電子材料に多用されているファインセラミックスなど、物理的加工しかできない新素材に対する新しい加工法として注目を浴びています。

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加工出来る素材と加工の種類
|加工の種類|
・表面凹凸形状
・貫通穴
・溝
・多段加工
2021-06-25
Si3N4材 貫通加工
2021-06-24
Si ウェハ 2段ピン加工
2021-06-23
Al2O3材 土手加工
マイクロブラストの流れ
ラミネート工程
ワークに感光性のレジストフィルムをラミネートします。
露光工程
加工図を基にポジパターンを作成し、レジストフィルムを感光します。
現 像
レジストフィルムの未露光部分を現像で洗い流し、露光された部分のみにします。
マイクロブラスト
マイクロブラストを行います。レジストフィルムの残存部分は切削されず、その他の部分が、切削されて凹状に加工されます。